Um die Herstellung hochwertiger SiC-Kristalle als Serienprodukt mittels physikalischer Gasphasenabscheidung zu ermöglichen, sind allerdings Modellierungsmethoden vonnöten, welche in der Lage sind, die Kristallwachstumsprozesse möglichst präzise vorherzusagen. Daher haben es sich Laborleiter Lorenz Romaner und sein Team, unterstützt von Unternehmenspartner EEMCO GmbH, zum Ziel gesetzt, neuartige Modellierungsmethoden für die virtuelle Beschreibung von (SiC-)Kristallwachstumsprozessen in der Halbleiterindustrie zu erarbeiten (welche zukünftig auch auf andere Kristalle übertragbar werden sollen): Dazu werden physikbasierte und datengetriebene Modellierungsansätze kombiniert um einen möglichst effizienten und vorhersagekräftigen Ansatz zu erhalten!
Auf dem Foto von links nach rechts zu sehen: Peter Moser (Vizerektor Montanuniversität Leoben), Ulrike Unterer (CDG-Vizepräsidentin und Abteilungsleiterin im BMAW), Stefan Defegger (EEMCO), Laborleiter Romaner und Rene Hammer (EEMCO).
Weitere Informationen zum CD-Labor
Pressemeldung (Montanuniversität Leoben)